Loading ...Исследователи под руководством профессора Вэй Яи из Университета Китайской академии наук (UCAS) улучшили точность конечного рисунка в нанолитографии ближнего поля, что стало прорывом в понимании дифракционного предела ближнего поля системы формирования рисунка на основе затухающих полей.
Результаты, опубликованные в Microsystems & Nanoengineering , являются первым исследованием физического происхождения эффекта оптической близости ближнего поля (OPE), а теоретические расчеты и результаты моделирования показывают, что быстрое исчезновение поля, вызванное быстрой потерей высокой k информация является одним из основных оптических факторов, влияющих на OPE ближнего поля.
Поскольку размер элемента постоянно уменьшается, профиль узора, созданный литографией ближнего поля, демонстрирует очень низкое качество узора из-за OPE ближнего поля, что намного ниже минимальных требований для нанопроизводства. Следовательно, важно свести к минимуму OPE ближнего поля, чтобы достичь максимально возможного разрешения и точности рисунка в процессе плазмонной литографии.
В этом исследовании исследователи изучили физические концепции, лежащие в основе OPE ближнего поля в безмасочной плазмонной литографии, и предложили метод коррекции оптической близости ближнего поля (OPC) с помощью пространственной модуляции наноструктур для улучшения конечного качества картины.
Точный OPC требует точной экспозиции, поэтому были выполнены численные расчеты для оценки функции рассеяния точки и количественного анализа эффекта усиления ближнего поля и зависимости плазмонного ближнего поля от размера.
Кроме того, была предложена аналитическая формула для количественного анализа влияния быстро затухающей характеристики исчезающего поля на OPE ближнего поля и теоретический предел точности картины.
Ввиду особенностей ОФЭ ближнего поля в плазмонной литографии был реализован быстрый и эффективный метод коррекции потери информации high-k, вызванной затухающим полем, путем предварительной компенсации дозы облучения в карте дозы облучения. И результаты моделирования показали, что точность окончательного шаблона может быть значительно улучшена.
Новости партнеров:
Вам могло бы понравиться:
429
